常用的微流控芯片制備方法和制程工藝介紹

更新時(shí)間：2024-01-15

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　　微流控芯片是一種在微米尺度上控制和操作液體的技術(shù)，廣泛應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)、化學(xué)分析、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域。制備的方法和制程工藝是多種多樣的，下面介紹幾種常用的制備方法和制程工藝。

　　1.光刻膠

　　光刻膠是一種光敏材料，用于制造集成電路和微電子器件。在芯片制備中，光刻膠可以被用來制作芯片的微結(jié)構(gòu)。

　　光刻膠被涂敷在硅片或玻璃片上，然后使用紫外線曝光技術(shù)對(duì)光刻膠進(jìn)行圖案化處理。

　　隨后進(jìn)行顯影和蝕刻，將光刻膠去除，完成微結(jié)構(gòu)的制作。

　　光刻膠法制備的芯片具有較高的精度和重復(fù)性。

　　2.微加工技術(shù)

　　微加工技術(shù)是一種制造微小結(jié)構(gòu)的技術(shù)，通常使用化學(xué)或物理方法在硅片或玻璃片上制作微結(jié)構(gòu)。該技術(shù)利用光刻、蝕刻和拋光等手段將硅片或玻璃片加工成所需的微結(jié)構(gòu)。微加工技術(shù)制備的微流控芯片具有高精度、高一致性和低成本等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于商業(yè)應(yīng)用。

　　3.注塑成型

　　注塑成型是一種塑料加工技術(shù)，通過高溫熔融塑料并注入模具中成型。在芯片制備中，注塑成型可用于制造高精度和高一致性的塑料微流控芯片。先將具有微結(jié)構(gòu)的模具制作出來，然后將塑料熔融液注入模具中成型，脫模得到微流控芯片。注塑成型法制備的具有快速制造和低成本等優(yōu)點(diǎn)。

　　4.軟光刻

　　軟光刻是一種非傳統(tǒng)光刻技術(shù)，使用軟材料代替?zhèn)鹘y(tǒng)光刻膠。軟光刻具有簡單、低成本和靈活性高等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室研究和原型制造。該技術(shù)使用PDMS材料制作微結(jié)構(gòu)，通過將PDMS材料置于模具上并加熱固化，將PDMS材料從模具上剝離下來，得到具有微結(jié)構(gòu)的PDMS芯片。

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常用的微流控芯片制備方法和制程工藝介紹